1、人工智能辅助晶体平界面生长控制研究 立足于扩展不可逆热力学,将弛豫效应引入到M-S动力学理论,精确推导出非平衡凝固条件下平界面生长的稳定性条件。利用人工智能算法分析大量实验数据,预测不同生长条件下的晶体质量和性能,实现自动调整生长参数(如温度、压力、掺杂剂等),以优化晶体生长过程,提高生长效率和晶体质量。
2、晶体生长与缺陷调控研究二维受限空间内硅熔体结构、凝固行为及凝固组织性能,冷却 速度和狭缝尺寸对硅的熔体结构和凝固行为都有非常重要的影响。研究 直拉法单晶硅的大尺寸化调控工艺,相关氧杂质、缺陷控制方法。
3、研究连续直拉法(CCz)产业化技术开发开发耐高温、抗腐蚀的连续加料系统,实现硅料连续熔融与液面稳定控制。设计高精度电磁搅拌装置,优化熔体对流与杂质分布,抑制氧含量。研制可支持12英寸以上硅棒生长的CCz单晶炉,突破大热场温度梯度控制、晶体直径闭环调节等核心技术。