实验室副主任 田新
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清华大学集成电路学博士,现任江苏鑫华半导体科技股份有限公司总裁。兼任徐州市集成电路与ICT产业联盟理事长。
江苏省硅基电子材料重点实验室 副主任 清华大学集成电路学博士,现任江苏鑫华半导体科技股份有限公司总裁。兼任徐州市集成电路与ICT产业联盟理事长。主导的研发项目攻克了电子级多晶硅的“卡脖子”技术难题,包括痕量杂质提纯、高等级洁净控制等,填补了国内半导体级原材料制造的空白。 主导研发的《集成电路用高纯电子级多晶硅大规模产业化技术》获得了江苏省科学技术三等奖。拥有11项电子级多晶硅相关发明专利,这些专利涵盖了多晶硅提纯技术、设备优化及生产流程创新等方面,显著推动了国内半导体材料技术的发展。牵头修订了《电子级多晶硅》国家标准,并于2022年发布,该标准获得了技术标准优秀奖。同时被授予“江苏省智 能制造专家”“中国IC发展优秀青年科学家”等荣誉称号。