双束显微系统
双束场发射扫描电子显微镜系统是一种集成场发射扫描电子显微镜（SEM）与聚焦离子束（FIB）技术的高端分析设备，具有Pt气体沉积系统，可用于材料、化工、微电子等相关研究领域。该系统通过电子束与离子束协同工作，可同时实现高分辨率显微成像和纳米级样品加工功能，配备的Pt气体沉积系统进一步增强了其微区材料处理能力。
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双束场发射扫描电子显微镜系统是一种集成场发射扫描电子显微镜（SEM）与聚焦离子束（FIB）技术的高端分析设备，具有Pt气体沉积系统，可用于材料、化工、微电子等相关研究领域。该系统通过电子束与离子束协同工作，可同时实现高分辨率显微成像和纳米级样品加工功能，配备的Pt气体沉积系统进一步增强了其微区材料处理能力。
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